[新聞] 新竹強震 晶圓破片
工商時報【記者王志煌、楊曉芳╱新竹報導】
新竹縣尖石鄉昨(13)日二度發生芮氏規模逾4級地震,一度驚傳晶圓雙雄台積電、聯電
位於竹科園區內產線發生破片狀況,據了解,影響程度尚在調查中,並未波及廠商的正常
營運。
昨下午4時22分新竹發生芮氏規模4.9級地震、晚間10點41分發生芮氏4.4級地震,竹科廠
區內也有2~4級不等震度,台積電、聯電官方發言管道回應指出,並無發生破片狀況,晶
圓生產線尚未造成影響。
不過,晶圓廠高層指出,震度3以上的地震即可造成破片影響,其中最高機率發生在運送
過程中,而設備生產過程中則依固定方式不同,12吋廠晶圓的固定方式,較8吋晶圓來得
穩定。上一回蘇澳地震時,晶圓有破片情形,這一次也不例外,有的爐管也出現裂痕。
竹科管理局副局長杜啟祥表示,有911大地震慘痛經驗,竹科廠商、尤其是半導體廠,在
震度達到5級的時候,生產線機台就會自動關機,而這次的地震雖然震央在新竹縣尖石鄉
,但新竹市和竹科僅3級左右,對於特別加強防震設施的竹科廠商並未造成太大影響。
杜啟祥指出,地震發生後,竹科園區內供水、供電都正常,科管局方面也未接獲廠商任何
因地震造成的損害通報。
911大地震時,竹科受創最重就是半導體廠,不僅造成多家半導體製造廠生產線爐管破裂
,高價機台更得花費高達數億元進行校正。更嚴重的是,台灣不僅是全球晶圓代工重心,
當時的DRAM市占率也有一定地位,因為911大地震造成半導體廠停工,全球半導體產業供
應鏈也嚴重失衡。
有了911大地震的慘痛教訓,竹科廠商在蓋廠時都會加強建築物的防震能力,尤其以晶圓
廠及面板廠更為謹慎,防震度至少都做到6、7級的水準。近幾年台灣偶有地震發生,一方
面新竹地區的震度不高,同時也因廠商的防震措施做得好,竹科自911大地震以來,尚未
因地震造成損失。
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