[新聞] ASML 新一代多光束檢測設備交付客戶，效

看板Stock作者時間4年前 (2020/06/02 08:58), 編輯推噓7(10推 3噓 3→)
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1.原文連結： ※過長無法點擊者必須縮網址 https://reurl.cc/Y1Q8RD 2.原文內容： 半導體先進製程的檢測又有新進步！荷商半導體設備大廠艾司摩爾（ASML）29 日宣布， 已經完成針對 5 奈米以上先進製程節點研發的第一代 HMI 多光束檢測（MBI）系統的整 合測試。型號 HMI eScan1000 成功展示了多光束檢測操作，透過 9 條電子束檢測掃描， 可檢測較多數量的晶圓。這與目前單個電子束檢查工具相比，eScan1000 因有 9 條電子 束，將使作業速度提高多達 600%。 ASML 表示，新 MBI 系統包含一個電子光學系統，發射及控制多個檢測電子束，然後收集 和處理反射後的電子束，並將電子束對電子束的干擾限制在 2% 以下，提供一致的成像品 質。它還有高速平台以提高系統的整體執行速度，並有高速運算架構即時處理多個電子束 檢測後的資訊。 ASML 表示，隨著每項新技術的製程技術不斷縮小，缺陷忍受度也變得越來越小，以至於 無法透過傳統光學檢測發現許多關鍵性缺陷。透過 ASML 的 MBI 新型多電子光束檢測系 統，能檢測到微小的缺陷，同時解決以前電子束檢測的執行速度限制，使其更適合大量製 造環境。 ASML 還強調，目前第一個多電子束檢查系統已在本週交付客戶驗證。ASML 計畫為後代增 加光束數量和提高光束解析度，以符合晶片製造商的產品路線圖要求。 3.心得/評論： ※必需填寫滿20字 漢微科威武,大家進場了嗎?? 沒進場的要快喔,ASML旗下的企業喔 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 60.248.203.163 (臺灣) ※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/Stock/M.1591059481.A.000.html
推
06/02 08:59, 4年前 , 1F
hmi機台賣得不怎樣阿..有老大哥撐腰
06/02 08:59, 1F
噓
06/02 09:24, 4年前 , 2F
直接買asml就好
06/02 09:24, 2F
→
06/02 09:35, 4年前 , 3F
雖然事實並非如此 但無所謂 有題材就好
06/02 09:35, 3F
推
06/02 09:35, 4年前 , 4F
漢微科不是被買走了 還在哦？
06/02 09:35, 4F
噓
06/02 09:37, 4年前 , 5F
你那裏還來得及
06/02 09:37, 5F
推
06/02 09:53, 4年前 , 6F
漢微科早就被併購了
06/02 09:53, 6F
推
06/02 10:02, 4年前 , 7F
檢測不是KLA嘛？
06/02 10:02, 7F
推
06/02 10:32, 4年前 , 8F
看COA hole跟看surface defect不一樣...
06/02 10:32, 8F
噓
06/02 11:02, 4年前 , 9F
這家才是真正的半導體技術主導者
06/02 11:02, 9F
推
06/02 11:03, 4年前 , 10F
難怪 上周我看到兩台他們的貨車運東西去某地
06/02 11:03, 10F
→
06/02 11:03, 4年前 , 11F
我懷疑的那某公司今天離開整理勃起了
06/02 11:03, 11F
推
06/02 11:53, 4年前 , 12F
Kla Onto(Rodulth+xxx) Camtek Nikon表示：
06/02 11:53, 12F
推
06/02 12:04, 4年前 , 13F
HMI買不到了吧，只能去歐洲買ASML啦！
06/02 12:04, 13F
推
06/02 13:22, 4年前 , 14F
直接歐印NMSL
06/02 13:22, 14F
推
06/02 14:49, 4年前 , 15F
我已經賣掉房子 All in NMSL 了
06/02 14:49, 15F
→
06/02 19:38, 4年前 , 16F
中國買不到ASML 但NMSL應該沒問題
06/02 19:38, 16F
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