討論串[問題] 有關橢圓儀
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推噓1(1推 0噓 0→)留言1則,0人參與, 最新作者dominatrix (Irene Adler)時間8年前 (2016/01/08 23:59), 8年前編輯資訊
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最近在學關於橢圓儀的原理. 不過有個地方實在搞不太懂. rp/rs= tanΨ*e^(iΔ). 橢圓儀是藉由所量到的測量值Ψ跟Δ 也就是振幅比與相位差. 來計算其他資訊(例如膜厚or n值). 但一直想不太透的是Ψ跟Δ是怎麼"直接"測量出來的?. 接收端是有什麼特殊的detector還是裝置嗎. 到
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推噓0(0推 0噓 0→)留言0則,0人參與, 最新作者pilipilifans (蛋塔)時間8年前 (2016/01/09 20:23), 8年前編輯資訊
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先說明一下rp和rs是指電場E的反射率 不是光強intensity. 所以不是測量rp以及rs再計算Ψ跟Δ. 基本上目前橢偏儀還是以測量光強的方式來計算Ψ跟Δ. 但通常必須搭配其他光學元件在適當的位置 (ex偏振片/四分之一波板). 雖然都叫橢偏儀 但其結構也不少 (ex RAE/RCE/DRC等.
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推噓0(0推 0噓 0→)留言0則,0人參與, 最新作者Jeffch (Jeff)時間8年前 (2016/01/11 14:42), 8年前編輯資訊
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得到Ψ跟Δ的方式各家略有不同,差異性在光學設計與訊號處理,光學設計如. pilipilifans所述的RAE/RCE/DRC等,主要就是在多一個或少一個光學元件,如. RAE: rotating analyzer. RCE: rotating compensator. DRC: dual rotat
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