[問題] 電子束轟擊造成積碳原因
大家好
一般我們使用SEM通常在一定的真空下
但經過電子束長時間的轟擊會發現表面累積一些物質
查了一下網路大多說是積碳
但這些碳從何而來 ？
在多少真空環境下容易生成 ？
因為google不到相關文獻
希望有相關領域高手幫忙解答一下
感謝
--
Sent from my Android
--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 36.237.33.145
※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/Physics/M.1435508234.A.10D.html
推
06/29 00:57, , 1F
06/29 00:57, 1F
推
06/29 01:41, , 2F
06/29 01:41, 2F
→
06/29 01:41, , 3F
06/29 01:41, 3F
→
06/29 01:41, , 4F
06/29 01:41, 4F
→
06/29 01:41, , 5F
06/29 01:41, 5F
→
06/29 07:09, , 6F
06/29 07:09, 6F
※ 編輯: homelan (36.237.35.146), 06/29/2015 07:10:33
→
06/29 07:13, , 7F
06/29 07:13, 7F
推
06/29 09:29, , 8F
06/29 09:29, 8F
→
06/29 09:30, , 9F
06/29 09:30, 9F
→
06/29 09:32, , 10F
06/29 09:32, 10F
→
06/29 09:33, , 11F
06/29 09:33, 11F
→
06/29 09:34, , 12F
06/29 09:34, 12F
→
06/29 12:43, , 13F
06/29 12:43, 13F
推
06/30 00:17, , 14F
06/30 00:17, 14F