板上各位大大好,我是一個大學機械所的小小研究生
關於PL的東西我實在不是很清楚該在哪裡問@@
如果po錯地方請多包涵...
下圖是我們lab架設的PL光路
用的是532nm雷射 lock-in是SR830 用labview驅動掃譜
https://www.dropbox.com/s/w1cfwh9z4zuob5m/2014-03-03%2022.39.38.jpg
會先用整片wafer校正光路
我們現在在做的是把這些樣品用黃光製程做成邊射型結構
從樣品表面打雷射激發,從樣品側邊(cross section)收PL
樣品擺置放大圖如下圖所示:
https://www.dropbox.com/s/tq5r26kcwp8y211/2014-03-03%2022.42.34.jpg
目前做的結果就是lock-in到量測的光譜都是由低波長一路向高波長遞減...
無法量到合理的譜
請問板上高手原因有可能是什麼呢?
(我做結構所使用的樣品都是成功量過表面打表面收PL的)
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◆ From: 140.123.123.208
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這是有可能,但奇怪的是這個一路遞減的訊號是能lock-in的,如果收光不好應該還是
正常譜的趨勢吧?頂多就鎖不到。我在monochromator入口前有放能濾掉雷射的filter
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