[請益] 詢問在台灣研究單位VLS法長Si

看板Physics作者 (EosMaster)時間10年前 (2014/01/29 00:38), 編輯推噓0(0推 0噓 3→)
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目前是以半導體元件作為研究題目，透過文獻知道有人用過VLS長Si柱，想請問在台灣的 哪裡奈米中心有這樣的一個儀器？ 還請幫忙一下，目前平常我知道會接觸的都已確認沒有了。 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 180.176.113.52
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我們實驗室有在做，我以為一般有CVD的都能做？
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除了silane比較毒以外，觸媒靠蒸鍍或是塗NPs都不難
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謝謝可否用站內信詢問些細節內容？
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