[問題] 電容相關問題

看板Physics作者 (地獄使者)時間13年前 (2012/09/02 21:16), 編輯推噓1(106)
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我們製作了上下電極板是AlCu金屬, 金屬板間有 Si3N4 與SiO2 介電質的MIM電容 我們的電容對電壓曲線告訴我們 Si3N4 與SiO2會受電壓影響, Si3N4 電容呈現開口向上的拋物線 而SiO2電容呈現開口向下的拋物線, 後來我們將Si3N4 與SiO2混和,製作複合film的電容, 結果電容對電壓曲線是 呈現一條水平線,也就是不隨電壓影響的電容,這是理想的電容特性. 相關文獻是說原因是可以互相補足兩種材料的不足, 但我想問說, 可以用普物的電容串聯來解釋嗎? 我用excel計算發現兩種電容倒數相加後再倒數, 會是水平線的結果。 這問題還蠻難的吧? -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 140.116.205.180

09/03 10:01, , 1F
MIM C-V會變和膜中缺陷或漏電流有關
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09/03 10:02, , 2F
你可能也要看一下電容的J-V曲線才能定論
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09/03 10:06, , 3F
若兩個材料加在一起漏電很低那就確實比較接近理想MIM
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09/03 10:07, , 4F
若是全部都很不漏那就和膜中缺陷有關
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09/03 15:08, , 5F
C-V 的確是跟模中缺陷有關,跟漏電流好像有點關,可是...
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09/03 15:10, , 6F
如果有漏電流,C-V應該隨著V愈大,C愈小,但SiN卻愈大
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09/03 15:11, , 7F
我們的實驗結果說明SiN的漏電流是大於SiO2
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文章代碼(AID): #1GGrnAYp (Physics)