[問題] 半導體製造與溫 濕度的關係?

看板Physics作者 (warner)時間13年前 (2012/04/30 21:26), 編輯推噓9(9推 0噓 5→)
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教授出了一個作業，關於半導體的製程環境， 但不是很了解為何半導體的生產環境需要嚴格的 控制溫度和濕度 網路上查到的資料說 半導體在趨近於零K時，電阻為無窮大， 隨著溫度增加釋放出自由電子，電阻因而下降，導電度提高， 而又有資料說明半導體會隨著溫度過高而提高其電阻， 請問是否半導體電阻值會隨著溫度升高先降低而後又提高呢? 這樣半導體是不是會有一個電阻值最低的溫度範圍啊? 還有一個問題是濕度會如何影響半導體的生產過程呢? -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 111.240.115.198 ※ 編輯: warnerwu 來自: 111.240.115.198 (04/30 21:27) ※ 編輯: warnerwu 來自: 111.240.115.198 (04/30 21:28)
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先了解半導體元件是怎麼製作出來的..
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我只知道柴氏長晶法
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在高低溫的時候 溼度高低會不會有影響 曝光多了一滴水怎辦
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更別說一堆都要抽真空...
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其實我不太清楚你要問的是半導體的製程，還是元件
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本質半導體在低溫及高溫電阻有負TCR，中溫是正的
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重參雜之半導體一開始具正TCR，高溫時會轉負
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以上是就Si而言，低溫高溫是多少就要看文獻了
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微影製程裡 幾乎每一段溫度都會影響(例：質傳速率)
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溫度對蝕刻製程有很大的影響
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我試過半導體溫度升高時電阻是下降的和金屬相反的
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推
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你標題問製造過程 內容寫元件對溫度的特性 你想問什麼？
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其實我不太清楚你要問的 https://muxiv.com
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更別說一堆都要抽真空. https://daxiv.com
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