[問題] hydrogen ettching 氫蝕刻

看板Physics作者 (wifi)時間14年前 (2011/08/17 10:41), 編輯推噓1(1推 0噓 0→)
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最近在看關於處理SiC的論文 其中能讓表面平整的方法是使用所謂的hydrogen etching 但關於這個技術的原理 我一直查不到 希望知道的人能告訴我這個答案 感激不盡 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 122.117.88.13
推
08/18 16:41, , 1F
化學蝕刻原理就是化學反應 你的例子應該是靠氫跟Si/C反應
08/18 16:41, 1F
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