[問題] 片電阻與電阻
已知
對單一金屬(Au)而言
若欲求截面為矩形的細長導線(體積=L*W*T)之電阻值
可以先用四點量測法 先測得厚度為 t之Au層的片電阻(Rs,Sheet Resistance)
再由以下關係得到電阻
R=ρ(L/A)=(Rs*t)(L/(W*T))=Rs(L/W)
我的問題是
若我的金屬層為複合金屬層(底層Cr+上層Au)是否也可以用此種方式計算電阻值呢
還是要使用類似材料力學的複合樑的Bending問題的修正法修正
或者是要用什麼方法做量測呢
希望大家不吝賜教
感謝
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