[問題] 電子束蒸鍍氧化鋁

看板Physics作者futurekeeper (放手去做~)時間15年前 (2011/01/15 17:34)推噓2(2推 0噓 1→)

留言3則, 3人參與討論串1/1

前輩們，目前小弟使用電子束蒸鍍方式蒸鍍氧化鋁薄膜，source為氧化鋁顆粒，坩鍋為石墨坩鍋，氧化鋁與石墨的熔點分別是2000與3600度，找不到氧化鋁與碳三相圖。目前發現蒸鍍後，氧化鋁接近坩鍋的部分有變黑的情況，而坩鍋上有氧化鋁顆粒的顆粒形狀，造成每次鍍膜後，皆要更換氧化鋁SOURCE，因為氧化鋁有汙染的疑慮。請問，蒸鍍氧化鋁需要怎樣的坩鍋？謝謝。 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 112.105.185.237

推

Narcissuss

01/15 22:33, , 1^F

01/15 22:33, 1^F

推

obluda

01/16 00:43, , 2^F

01/16 00:43, 2^F

→

futurekeeper

01/20 23:15, , 3^F

01/20 23:15, 3^F

‣ 返回看板[ Physics ] 物理

‣ 更多 futurekeeper 的文章

文章代碼(AID): #1DCMeInT (Physics)