[問題] PECVD製做DLC

看板Physics作者 (材料之星)時間15年前 (2011/01/06 23:55), 編輯推噓0(0推 0噓 0→)
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利用PECVD(電漿增強CVD) 再加上表面改質成CN的DLC(類鑽碳膜) 會產生脆性嗎?... WHY?? CVD在silicon wafer上... -- ▊ ● ████◣ ╭◢███◣ ◣ ◣ ╮ ╭◢█◣ ◢█◣╲╲ ▊╴ ╭██ ◥█═╯██ ◥█ █ █ ╰═════╯█ █ █ █╮ ▊ Π ║██◣ █ ██ █ █ █ ◢█◣ ◣█◣ █ █ █║ ㄟ─ ∥ ║████◤ ★ █████ █ █ █▄◤ █▌█ ◢█◤ █ █║ ㄟ╯ ∥ ║██◥█◣ ██ █ █ █ ◥█◤ ◥▌◤ █ █ █║ 20 █ ╰█◤═◥█══◥█══◤ ◥ ◥ ══BOSKG5MVP ███ ◥█◤╯ ／∕ -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 140.124.56.207
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