[問題] 電感式電漿輔助化學氣相沉積法

看板Physics作者 (Lifan)時間15年前 (2010/11/24 11:21), 編輯推噓0(0推 0噓 1→)
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大家好 我想請問用電感式電漿輔助化學氣相沉積法 製造奈米碳管 電漿要如何幫助碳原分解? -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 140.119.130.118
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PECVD成長奈米碳管的PAPER應該稍微估狗學術就有了阿
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