[問題] Al2O3 and TiO2

看板Physics作者 (找到出路)時間14年前 (2009/12/09 19:20), 編輯推噓1(1推 0噓 1→)
留言2則, 2人參與, 最新討論串1/1
想請問ㄧ下這兩種材料 用E-gun去鍍的話品質會不會很差 跟sputter or sol-gel比(TiO2) 跟ALD or sputter比(Al2O3) 想再問ㄧ下一般想鍍薄薄ㄧ層Al2O3 都是用哪一種方法 ALD哪裡可以借得到(台北台大佳) 謝謝 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 140.112.102.175
推
12/09 20:40, , 1F
用 sputter 長 Al2O3 可以請教林敏聰老師實驗室
12/09 20:40, 1F
→
12/09 22:55, , 2F
Egun不是很好 還是sputter比較ok
12/09 22:55, 2F
‣ 更多 LScouple 的文章
文章代碼(AID): #1B7uVugb (Physics)