[問題] Al與si 歐姆接觸

看板Physics作者 (zzzz)時間16年前 (2009/09/30 22:15), 編輯推噓1(1推 0噓 2→)
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想問一下 Al電極作在矽晶片上如果要形成歐姆接點的話 應該要經過退火的程序 想問一下退火的時間和溫度大概是多久 用高溫爐或是ＲＴＡ是否不同 升溫速度大概要少 Al大概鍍多厚差不多 謝謝 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 218.168.75.234
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09/30 23:30, , 1F
文獻都可以查到參考
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paper會告訴你答案~~
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推
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= = 這要查paper吧
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