PMMA 當 etching mask

看板Physics作者 (　Ｏ　ＹＡ)時間17年前 (2009/02/18 22:47), 編輯推噓1(1推 0噓 0→)
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※ [本文轉錄自 Chemistry 看板] 作者: jovibon (　Ｏ　ＹＡ) 站內: Chemistry 標題: PMMA 當 etching mask 時間: Wed Feb 18 22:47:37 2009 大家好 我想把PMMA spin在Si上 然後以PMMA 當 etching mask 去向下時刻矽 請問這各有方法辦到嗎 謝謝喔 -- Ｉｔ'ｓ　　　　　Ｍｙ　　　　　　Ｌｉｆｅ -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 140.112.25.113 -- Ｉｔ'ｓ　　　　　Ｍｙ　　　　　　Ｌｉｆｅ -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 140.112.25.113
推
02/19 15:42, , 1F
你可以去機電板問問看!
02/19 15:42, 1F
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