[實驗] Si 的等向性蝕刻

看板Physics作者 (　Ｏ　ＹＡ)時間18年前 (2008/05/15 23:24), 編輯推噓1(1推 0噓 4→)
留言5則, 3人參與, 最新討論串1/1
※ [本文轉錄自 Chemistry 看板] 作者: jovibon (　Ｏ　ＹＡ) 站內: Chemistry 標題: [實驗] Si 的等向性蝕刻 時間: Thu May 15 23:23:46 2008 請問大家一下有什麼溶液可以等向性蝕刻Si呢 拜託各位摟 謝謝阿 -- Ｉｔ'ｓ　　　　　Ｍｙ　　　　　　Ｌｉｆｅ -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 218.166.11.21 -- Ｉｔ'ｓ　　　　　Ｍｙ　　　　　　Ｌｉｆｅ -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 218.166.11.21
→
05/15 23:38, , 1F
等向通常用濕蝕刻，但不知道etching Si的，倒是知道SiO, SiN
05/15 23:38, 1F
→
05/15 23:44, , 2F
可以說一下SiN的嗎 以及配方比例 謝謝喔
05/15 23:44, 2F
→
05/16 00:02, , 3F
就磷酸 一份SiN需 四份H3PO4 十份H2O
05/16 00:02, 3F
→
05/16 00:04, , 4F
會產生 Si3O2(OH)8 和 NH3 H3PO4
05/16 00:04, 4F
推
05/18 15:04, , 5F
請查HNA 或silicon bulk micromachining相關資料
05/18 15:04, 5F
‣ 更多 jovibon 的文章
文章代碼(AID): #18B5MJr6 (Physics)