[題目] 『銀』導線製程(Sputter)濺鍍靶材

看板Physics作者 (萬精游)時間18年前 (2007/12/20 20:50), 編輯推噓0(0推 0噓 1→)
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[領域] (題目相關領域) 半導體製程 [來源] (課本習題、考古題、參考書...) 頭腦 [題目] 『銀』導線製程(Sputter)濺鍍靶材 [瓶頸] (寫寫自己的想法，方便大家為你解答) 排除了「電鍍銀」超級毒性問題 採用『銀靶材』濺鍍『銀製程』，不知道有沒有什麼問題 我想，唯一的問題大概是『錢太貴了』 聖誕快樂呀！ 1987/02/21 tsmc was established. -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 220.141.113.182
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