光學顯微鏡能看到的最低厚度

看板Physics作者scal (THE YANKEES)時間18年前 (2007/08/30 23:29)推噓2(2推 0噓 2→)

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請問各位大大若我用一個光學顯微鏡底下放著一個Si wafer,然後上面有一金屬圖形若我想要看到這金屬他的厚度是否有最低限制呢? 比方說依我經驗即使厚度只有20nm 我還是看的到這金屬,只要他夠寬但是請問在更低的厚度顯微鏡能看到多薄的金屬呢? 謝謝 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 18.58.7.20

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Stuber

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yeahbo

08/31 08:59, , 2^F

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wonds

08/31 23:52, , 3^F

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