Re: 請問一下蝕刻Ti的方法?

看板Physics作者時間18年前 (2007/05/27 13:01), 編輯推噓1(103)
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※ 引述《playtwo.bbs@ptt.cc (...........)》之銘言: : 請問有人知道如何把在sapphire基板背面的Ti金屬洗掉 : 不傷害另一面的N-base半導體的方法嗎? : 請大家幫忙 , 謝謝 最近常搞low tech 不能磨掉或是很小心只讓基版下面碰到solution嗎? -- ※ 發信站: 深太空九號(ds9.twbbs.org) ◆ From: 69.244.221.227

05/27 13:12, , 1F
碰SOLUTION的話毛細現象很能克服....
05/27 13:12, 1F

05/27 13:13, , 2F
除非另一面有類似mask的東西防止毛細現象發生...
05/27 13:13, 2F

05/27 13:16, , 3F
用磨的難度很高...很容易沿著晶格面破碎....
05/27 13:16, 3F

05/28 08:01, , 4F
你要不要試試先把Ti氧化再蝕刻
05/28 08:01, 4F
文章代碼(AID): #16MH2J00 (Physics)