[問題] SU8-2002光阻稀釋劑 及 HMDS的購買

看板PhD作者時間13年前 (2011/04/12 10:34), 編輯推噓5(5推 0噓 4→)
留言9則, 5人參與, 最新討論串1/1
最近實驗室剛步入黃光製程 在曝光顯影上的技術及認知都有一點弱 我們發現SU8 2002光阻黏稠度過高造成光阻過厚 因此想要買稀釋劑進行稀釋降低膜厚 以及用HMDS增加光阻於基板上的附著能力 想請問這兩個東西哪個廠商有在賣？ GOOGLE了好久都找不到相關資料 謝謝 -- 別人在facebook 我在phase book 偉 別人在plurk 我在Planck 哉 別人在看Transformer 我在算Fourier Transformer ！ 別人在MSN 我在maxwell's equation 物 別人在PTT 我在potential　　　　　　　　　　　 　理　　　 別人在瘋SHE 我在瘋Schrödinger -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 140.128.194.201
推
04/12 10:39, , 1F
你可以去NEMS版問
04/12 10:39, 1F
推
04/12 11:33, , 2F
你買SU8的那一家廠商就有在賣thinner HMDS可以問友和或景明
04/12 11:33, 2F
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04/12 11:34, , 3F
或是直接買2000.5 看datasheet就知道了 我們是找亞太國際買
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04/12 11:57, , 4F
OK~了解 那請問大家都用哪間廠牌的呢？
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04/12 11:57, , 5F
友和報Alfa 500mL包裝的 1922元~
04/12 11:57, 5F
推
04/12 13:44, , 6F
SU8不就是專門在做厚光阻用的，怎麼不直接買稀光阻?
04/12 13:44, 6F
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04/12 13:44, , 7F
你買稀釋液也不會便宜到哪去
04/12 13:44, 7F
推
04/12 13:49, , 8F
可能SU8比較強韌吧
04/12 13:49, 8F
推
04/12 15:42, , 9F
是呀 其實討論的前提是他要先說他想作多厚
04/12 15:42, 9F
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