[問題] O2 plasma

看板PhD作者 ( )時間14年前 (2010/07/31 13:13), 編輯推噓9(9推 0噓 6→)
留言15則, 11人參與, 最新討論串1/1
各位版友大家好 我們實驗室買了一台plasma cleaner 原廠提供是用空氣來做電漿氣體 由於實驗需求想要改成O2 plasma 但卻發生了一些問題 氧電漿點不起來(看不到輝光) 由於機器是提供29W的RF POWER(本機型最大的功率值) 真空約抽至1*10^-1左右 不知道是我們真空抽不夠還是功率太小 想麻煩有經驗的人提供一下意見 謝謝 補敘述操作流程： 1.抽真空至1*10^-1 torr 2.通入純氧沖腔體約10秒(壓力約在1.2 torr) 3.停止純氧供應，抽真空至1*10^-1 torr 4.通入純氧，控制壓力在5~8*10^-1 torr 5.開啟RF Power 6.關閉RF Power 7.破真空 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 140.128.194.201 ※ 編輯: allencce 來自: 140.128.194.201 (07/31 14:03)
推
07/31 14:48, , 1F
最快的方法--->叫廠商出來面對
07/31 14:48, 1F
推
07/31 15:05, , 2F
先try看看Ar Ar能點的話O2也差不多可以
07/31 15:05, 2F
推
07/31 15:51, , 3F
真空壓力跟氧分壓太高，降到200mTorr看看, 功率太小也
07/31 15:51, 3F
→
07/31 15:52, , 4F
有可能。不過我在想你有沒有做阻抗匹配？說不定功率打
07/31 15:52, 4F
→
07/31 15:52, , 5F
不進你的腔體，全部被反射了。
07/31 15:52, 5F
推
07/31 16:21, , 6F
最快的方法--->叫廠商踹共
07/31 16:21, 6F
推
07/31 19:04, , 7F
看不到光最常發生的原因好像都是沒做好阻抗匹配
07/31 19:04, 7F
推
07/31 19:18, , 8F
先試試同樣的參數打空氣進去可以嗎?
07/31 19:18, 8F
→
07/31 19:18, , 9F
如果可以的話就可以排除阻抗匹配問題
07/31 19:18, 9F
→
07/31 20:35, , 10F
空氣是有辦法點起來的 !!
07/31 20:35, 10F
→
07/31 20:50, , 11F
有沒有辦法試試更低的分壓...?
07/31 20:50, 11F
推
07/31 23:19, , 12F
這功率也太小了吧
07/31 23:19, 12F
推
08/02 01:35, , 13F
可能通入氣體後要能維持住小於6*10^-1以下才可以打
08/02 01:35, 13F
→
08/02 01:37, , 14F
換個pump的油 或是換台強一點的pump..
08/02 01:37, 14F
推
08/03 19:35, , 15F
覺得分壓太高+1
08/03 19:35, 15F
‣ 更多 allencce 的文章
文章代碼(AID): #1CKx4DMB (PhD)