[情報] ASML 交貨英特爾首套 High-NA EUV 曝光機
ASML 交貨英特爾首套 High-NA EUV 曝光機,總價逾 3 億美元
曝光機大廠 ASML 21 日宣布,已運送業界首套數值孔徑為 0.55(High-NA)極紫外線
(EUV)曝光機給英特爾。英特爾之前表示,首套 High-NA EUV 曝光機將用於學習如
何生產 Intel 18A 先進製程,有望使英特爾領先對手台積電和三星。
ASML 發言人表示,已出貨第一套 High-NA EUV 曝光機給英特爾。如 9 月宣布,機器
從荷蘭 ASML 總部運往英特爾俄勒岡州晶圓廠安裝。High-NA EUV 曝光機體積非常大,
需 13 個大貨櫃才能裝完。每套 High-NA EU V 曝光機成本約 3 億至 4 億美元。
英特爾表示,會使用最新設備學習生產 Intel 18A 製程,2025 年量產。配備 0.55 NA
透鏡的高 High-NA EUV 曝光機達 8 奈米解析度,比 0.33 NA 透鏡、13 奈米解析度標
準 EUV 曝光機顯著提升。High-NA 將在 2 奈米及更先進製程發揮重要作用。
因 High-NA EUV 曝光機與標準 EUV 曝光機差異不小,需大量修正基礎設施,故領先對
手幾季部署對英特爾是很大優勢。英特爾有充足時間調整 Intel18A 製程,一方面調整
High-NA EUV 曝光機基礎設施。
來源
https://technews.tw/2023/12/22/asml-delivers-first-set-of-high-na-euv-exposure-machine-to-intel/
https://reurl.cc/XqkXVE
i社表示:機器來了,需要大量新鮮的肝臟
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