[評價] 103-2 劉致為 半導體實驗(電機系十選二)
※ 本文是否可提供臺大同學轉作其他非營利用途？（須保留原作者 ID）
（是／否／其他條件）： 是
哪一學年度修課： 103-2
ψ 授課教師 (若為多人合授請寫開課教師，以方便收錄)
劉致為，但實際上由助教上課，教授每周Meeting一次
λ 開課系所與授課對象 (是否為必修或通識課 / 內容是否與某些背景相關)
電機系 十選二必修實驗
δ 課程大概內容
實驗一 熱電性質 (1 week)
(了解熱電效應，並用以判斷晶片型別，介紹晶片清洗方式)
實驗二 金屬薄膜沉積與四點探針 (1 week)
(介紹蒸鍍濺鍍等在晶片上鍍金屬之方式，並量測電阻)
實驗三 Van Der Pauw量測與霍爾效應 (1 week)
(介紹Van Der Pauw量測法及霍爾效應，並用以判斷晶片型
別，計算參數)
實驗四 蕭基二極體之量測與位障計算 (1 week)
(介紹蕭基二極體還有Band diagram等概念，計算參數)
實驗五 氧化層之成長與厚度量測 (2 week)
(在晶片上長氧化層，並透過五種不同的方法來判斷厚度)
期中考周不上課
實驗五 氧化層之成長與厚度量測 (1 week)
實驗六 金屬氧化物半導體場效電晶體之製作 (4 week)
(從一片Si晶圓作出MOSFET，包含放光阻，顯影，蝕刻等步
驟，此實驗會在無塵室中進行，也是本學期最重要的一次實
驗！重要到連助教都說這個實驗成功這個學期就結束了！)
實驗七 太陽能電池效率量測 (1 week)
(介紹太陽能電池原理並量測，之後會找一天去博理館頂樓
看太陽能板)
期末考周不上課(考試提早兩個禮拜考)
Ω 私心推薦指數(以五分計) ★★★★★
想輕鬆過，拿高分 ★★★★★
不能忍受被教授酸 ★
想自己動手做實驗 ★★★
η 上課用書(影印講義或是指定教科書)
無，但若對課程內容有疑問，可參考固態電子學課本，裡面觀念解釋
較詳盡。
參考課本：D.A.Neamen, 4E, Semiconductor Physics and Devices
μ 上課方式(投影片、團體討論、老師教學風格)
上課地點在電機一館，Meeting地點在電機二館。
由助教以投影片方式上課，輔以板書講解，有問題可當場提問。
之後開始進行當周實驗，實驗中比較複雜的儀器通常是助教操作
，學生在一旁看，所以動手時間較少，若想親自操作，可跟助教
說。實驗時間有長有短，但大致上都會在兩個小時左右結束。比
較特別的是第六個實驗，由於會進無塵室，還要整理一些實驗數
據，所以會晚一點下課，最久一次做了3個半小時。
另外，每周還必須與教授 Meeting一次，依所分好之報告組別進
行當周實驗報告。這邊要注意的是，教授會拋出一些問題，如果
不會的話，教授會用比較酸的說話方式來噹，但其實可聽的出來
教授並不是有意的，只是說話習慣就是這樣XD。若被人酸會覺得
十分不舒服的同學，強烈不建議修這門課。若是擔心會一直被酸
的話，可於報告前找助教，詢問一下教授可能會問的問題，先做
好準備。
σ 評分方式(給分甜嗎？是紮實分？)
結報 42% (6% for each exp.)
期末考 20%
上課及出缺席 18% (Meeting+上課 缺席一次扣5分)
筆記 20%
給分很甜，平均應該在A左右(今天公布成績)。
ρ 考題型式、作業方式
作業有分結報、筆記兩部分。
筆記部分為個人作業。每人需準備一本筆記本，在當周上課前，
將該次實驗內容寫上去(參考實驗網站投影片)，即預報。另外，
助教上課補充內容及Meeting時教授補充內容也要一併寫上去，
期末時要繳交給助教打分數，打完分數後發回。分數高低與筆記
內容多寡成正相關。
結報部分為2~3人一組，內容須至少包含實驗原理、實驗數據整
理、結報問題等三大部分，作圖部分需使用Origin軟體，要稍微
學一下，助教在剛開學時會教。結報繳交期限為下一次實驗上課
前。基本上，這堂實驗課最花時間的地方就是結報，建議分配一
人做原理部分，一人做實驗數據整理，一人做結報問題較佳。在
組別中本人負責實驗數據整理與最後統整部分，整理到最後，七
次報告最少10頁，最多到26頁，供大家參考。對了，雖然實驗數
據整理可能會較其他兩者花較多時間，但期末考也可以花較少時
間準備，因為實驗內容會很深刻(處理大量數據真的麻煩！)
考試部分則是只有期末考，形式為簡答題，主要考上課筆記與實
驗內容投影片。要是上課有認真聽，結報認真做的話，複習很快
(我複習約一晚)。期末考配分超過一百分(總分108)，大家都考得
滿高的(平均快90)。
ω 其它(是否注重出席率？如果為外系選修，需先有什麼基礎較好嗎？老師個性？
加簽習慣？嚴禁遲到等…)
出席率很重要，但有事可請假，不會扣分，本人因地調一請過一
次假。
不論是外系選修或者是本系選修，建議有半導體基本知識來修會
比較輕鬆，沒有的話問助教也是可以的。
加簽部分有來應該都會上，因為沒到人數上限(這學期才13人修)。
教授雖然說話方式有點酸，但其實人不錯也常常會開一些玩笑。
重點是，教授非常愛台灣！！！教授常常會問我們要不要在公寓
頂樓放太陽能板，他常說這樣是愛台灣的方式(向他買太陽能板還
會打折XD)。另外，教授也常常跟我們分享一些半導體產業的進展
，我有印象的是當教授跟我們分享台積電打敗三星，取得蘋果訂單
的消息之後，開心的咧！
附上電機系半導體實驗課程網站：
http://nanosioe.ee.ntu.edu.tw/semilab/
Ψ 總結
如果不想太累(相比電機系其他十選二實驗如數電、網多)，又想學些
東西，半導體實驗絕對是個好選擇！
(若能配合固態電子學修更好，可以釐清及驗證一些重要觀念！)
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