[直擊] E-GUN

看板NTUEOE_R402作者yvettehappy (黑狗吃春捲)時間13年前 (2011/04/08 15:10)推噓14(14推 0噓 1→)

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關於402E-GUN的事情,我在這邊跟大家說明一下 4/7我一如往常的要在p-GaN上鍍Ni/Au 然後一切都是按照正常步驟在操作,直到我鍍完Ni時我把電流慢慢調小並關掉,然後再關掉電壓,想說等一下等到確定矸鍋已經降溫完成,沒有紅紅的了,再開始鍍Au 接著我就開始開電壓,開電流,慢慢升電流時,突然聽到「ㄅㄥˋ」的一聲非常大聲,大聲到我覺得E-GUN要爆炸了,然後接下來就一直聽到機器運轉很大聲的聲音可是我當時並不確定是從哪裡傳來的,然後面板操作起來也都很正常主chamber還是-7 order torr,load chamber也還是-2-3 order 總之我不知道是哪裡出了問題,然後就打電話叫NONO學長來看後來NONO學長來了之後就把E-GUN主Chamber內的turbo pump前面的valve關掉, 然後chamber就變成-6 order torr,也不能開啟電流了,所以我就把sample拿出來了 4/8 那顆turbo pump原廠的人今天來看過後,TP上的controller上面顯示軸承歪掉了該廠商的人講說有機會造成軸承歪掉的原因,可能是因為有外在很大的壓力灌進去但是我操作上理因是沒有去破主腔體的真空,而且據亮宇學長的說法,昨天事發經過五六個小時後主chamber的真空度還是在-5 order torr,不像是有大氣壓力跑進去 (因為如果這樣的話可能回壓會很快才是),這個TP現在只能送回法國原廠去修理,可能要三四個月,他們似乎有想到的替代方案就是拆掉一個他們沒有在用的蒸鍍機,把那台TP拿來裝,但是這樣程式很多都要作修改,至少也要一個月最後火鍋他們去稟報彭老師,然後彭老師就下了這個命令說:JJ LAB主有蘇亮宇學長可以用他們的機台,其他人都不行最後我想跟大家道歉,雖然現在我也不知道turbo pump壞掉的主因,但的確就是當我在使用中時壞掉的,很抱歉會影響到很多人的實驗進度,我也知道說大家都趕著要畢業(不管是我們LAB還是PENG LAB),小的在這邊深深一鞠躬,真的很抱歉!!!!搜呂阿!! 阿巧 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 140.112.49.136

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nutmeg

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microsot

04/08 15:50, , 2^F

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radiant1016

04/08 20:55, , 3^F

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