[元件] 大chamber使用方式
經過裝機後大chamber的抽氣方式有些許改變，
操作步驟如下：
<破真空>
1.確認腔體狀態：MV、RV、VV關閉，FV開啟，turbo load燈於第一格
按下turbo控制面板stop鍵，turbo降轉速(load燈由最右邊慢慢下降)
2.待turbo完全降轉速後，turbo控制面板只剩橘色power燈。
關閉FV。
3.確認腔體狀態：MV、RV、VV、FV關閉，turbo控制面板只剩橘色power燈
開氮氣、VV破真空
<抽真空>
1.確認腔體狀態：MV、RV、VV、FV關閉，turbo控制面板只剩橘色power燈
打開FV。
2.待gauge A降至5E-2 torr以下時，按下turbo控制面板start鍵啟動turbo
(note)RV和MV皆一直關閉的狀態。
ion pump仍在測試中，先暫時不要使用。
我也會放一份在大chamber前面。
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.112.187.113
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