[Lab ] 小chamber驚悚冒煙事件
今天中午小chamber的三號電極
外部連接處的絕緣塑膠環燒掉了
目前原因不明
我把chamber內地板上的雜物都清掉了
目前可能的結果是
1.導體(Al條,鎢舟)掉到下面
使電極跟腔體短路
2.使用久了
電極跟腔體蓮接觸的絕緣環被日積月累的金屬蓋住
我剛剛試用了一下鍍Ag
沒有問題
都可以正常使用
但是
如果有使用上的異常的話
也請盡速通知我
所以
這陣子
大家蒸鍍時請多注意一下鍍出source時的電壓電流
如有異常
請先把電流關掉再說
謝謝啦
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
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