[問題] 請推薦可曝出 0.3um 線寬的光阻

看板NEMS作者 (感受到 鄉民的正義了~~)時間4年前 (2020/05/23 02:46), 編輯推噓3(3推 0噓 4→)
留言7則, 4人參與, 3年前最新討論串1/1
各位先進好, 黃光博大精深, 小弟只略懂皮毛 請問6" ASML, Canon, Nikon的i-line機台 若欲曝出0.3um的線寬(both strip & square type) 除了需搭配轉速, 轉出適當的厚度 可能亦須做FEM(Focus Exposure Matrix)的實驗, 找出較適當的曝光條件 而在光阻選用上, 各機台有分別建議的光阻型號嗎 謝謝 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 61.231.106.24 (臺灣) ※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/NEMS/M.1590173187.A.D8B.html
推
05/24 19:42, 4年前 , 1F
6 寸 0.3 um 有點太極限
05/24 19:42, 1F
→
05/25 01:12, 4年前 , 2F
確實, 6"通常CD極限在0.5~0.6um,overlay在0.1~0.2um
05/25 01:12, 2F
→
05/25 01:13, 4年前 , 3F
不過也是要搭配黃光光源, 跟光阻特性, 所以想請教
05/25 01:13, 3F
推
06/18 21:32, 3年前 , 4F
ULTRA-123
06/18 21:32, 4F
→
06/21 02:36, 3年前 , 5F
感謝推薦,我會再study這隻光阻,請問有供應商資訊嗎?
06/21 02:36, 5F
推
11/02 14:48, 3年前 , 6F
您好，我們代理Kemlab的光阻，可供應0.3um線寬的產品，歡
11/02 14:48, 6F
→
11/02 14:48, 3年前 , 7F
迎私訊討論！
11/02 14:48, 7F
‣ 更多 jerrychu1211 的文章
文章代碼(AID): #1Uo1u3sB (NEMS)