[問題] 曝光光源疑問

看板NEMS作者 (逛逛逛逛就好)時間4年前 (2019/06/25 09:27), 編輯推噓1(1推 0噓 0→)
留言1則, 1人參與, 4年前最新討論串1/1
請問各位黃光微影製程的先進，G-PR為什麼能用i-line進行曝光，小妹以前都是直接買i- line光阻進行i-line曝光，不知道這樣會有什麼風險？ 業務只告知可共用，詳細情形我也不太清楚，想請問各位大大有碰過類似情形？ 目前傾向購買AZP4620/P4400/P3300，再跟台廠拿樣品試做，請各位不吝賜教，感恩 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 42.77.252.11 (臺灣) ※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/NEMS/M.1561426057.A.956.html
推
06/26 12:53, 4年前 , 1F
iline hline 都吃 只是解析度有差 看妳的線寬需求
06/26 12:53, 1F
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