[問題] 關於硼擴散製程
各位前輩大家好
小弟最近在做硼擴散製程
可是做出來的結果復合一直無法改善
有查過文章說高濃度的硼離子會有很高的復合
所以也試過在擴散完後用蝕刻法蝕刻表面高濃度層
想請問各位前輩有沒有什麼小弟沒弄清楚的地方
還請大家指教
--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 49.215.208.26
※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/NEMS/M.1547990532.A.173.html
推
02/01 22:27,
5年前
, 1F
02/01 22:27, 1F
→
02/01 22:29,
5年前
, 2F
02/01 22:29, 2F
→
02/01 22:29,
5年前
, 3F
02/01 22:29, 3F
→
02/01 22:31,
5年前
, 4F
02/01 22:31, 4F
→
02/01 22:32,
5年前
, 5F
02/01 22:32, 5F