[問題] MOCVD加熱型mfc故障
請問各位大大
有哪間學校或業界先進是使用mks的加熱型mfc控制mo材料進去腔體的
想請問維修及處理廠商是哪間
目前我們實驗室跟購買的廠商笙瑞是都只能聯絡美國原廠，維修一次很貴。
已知問題
加熱至90度mfc會有高頻聲
流量回傳訊號有問題 by pass測試 前級5850與後級mfc流量不一致
有沒有哪位大大可以提供解決方案
或是在台灣可以維修的廠商
附上mfc圖片
http://i.imgur.com/blo48U6.jpg
麻煩了 謝謝！！
手機排版傷眼抱歉
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推
12/21 16:56,
5年前
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