[問題]Adhesion與barrier顏色問題

看板NEMS作者hg790727 (請叫我句點王)時間5年前 (2018/11/16 01:39)推噓3(3推 0噓 2→)

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小弟在fab上班,有一個疑問想問在製程中barrier跟Adhesion與抗反射層的成分同樣是TiN,但顏色不一樣 barrier的顏色為金黃色,而Adhesion跟抗反射層的顏色為深紫色想請問可能是何種因素造成此差異? 如果拿鍍抗反射層的材料去鍍barrier應該是不行的?因為性質不同懇請賜教! -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 36.227.180.212 ※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/NEMS/M.1542303540.A.140.html

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cupidboy

11/16 21:14, 5年前 , 1^F

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cupidboy

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funkeinstein

11/17 05:43, 5年前 , 3^F

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