[問題] PDMS-PDMS 氧電漿黏合參數請益

看板NEMS作者 (阿瑋)時間6年前 (2018/05/20 11:07), 編輯推噓3(3推 0噓 4→)
留言7則, 3人參與, 5年前最新討論串1/1
小弟研究是微流道晶片 需要用氧電漿將兩片PDMS進行黏合 打的時候維持壓力值400mtorr 30W 3min 有時成功有時失敗 請叫各位大大幫忙解惑。 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 140.116.155.93 ※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/NEMS/M.1526785663.A.E66.html
推
05/21 16:49, 6年前 , 1F
三分鐘有點太長了
05/21 16:49, 1F
推
05/25 03:04, 6年前 , 2F
220mtorr,20W,打個五秒，緊到不行。
05/25 03:04, 2F
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05/25 03:07, 6年前 , 3F
檢查一下氧氣含量，打的時間跟是不是利用純氧有很大的
05/25 03:07, 3F
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05/25 03:07, 6年前 , 4F
關係(以前曾經用空氣打過，因為裡面的氧氣含量為純氧的
05/25 03:07, 4F
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05/25 03:07, 6年前 , 5F
20%，所以打的時間拉到30秒都還可以黏得不錯。)
05/25 03:07, 5F
推
09/21 19:39, 5年前 , 6F
打空氣電漿其實就ok了 打完加重物放加熱板100C 10min會黏
09/21 19:39, 6F
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09/21 19:39, 5年前 , 7F
更好
09/21 19:39, 7F
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