[問題] 有沒有推薦的玻璃光罩廠商?

看板NEMS作者 (學同我者強)時間6年前 (2018/04/22 00:19), 編輯推噓5(501)
留言6則, 6人參與, 4年前最新討論串1/1
各位好 想請問大家有沒有推薦的玻璃光罩廠商? 一般而言我們實驗室的光罩都是請交大光罩製作 通常需要耗費五周 但現在急著需要無法等這麼久 圖案是邊長20um的正三角形陣列 一般的膠片光罩解析度不足 詢問過港建 他們表示會有5um的R角 這樣會大幅偏離三角形的形狀 似乎還是只能用玻璃光罩 港建也有製作玻璃光罩的服務 大概花費1.6w 製作一周 想請問各位是否有委外製作玻璃光罩的經驗? 有沒有其他推薦的玻璃光罩製作廠商? -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 61.70.253.125 ※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/NEMS/M.1524327551.A.D64.html

04/22 09:05, 6年前 , 1F
成大微奈米中心跟中央大學也都有光罩製作服務
04/22 09:05, 1F

04/22 17:11, 6年前 , 2F
大寶島光電
04/22 17:11, 2F

04/27 00:50, 6年前 , 3F
台大也有
04/27 00:50, 3F

04/29 22:22, 6年前 , 4F
詢問後發現成大的解析度和價格最實惠 感謝大家推薦!
04/29 22:22, 4F

06/28 14:53, 5年前 , 5F
目前台大北微 每片5000可以找他們作
06/28 14:53, 5F

09/14 19:13, 4年前 , 6F
工研院有在做 7吋約2萬
09/14 19:13, 6F
文章代碼(AID): #1QssH_ra (NEMS)