[問題] HMDS 塗布問題
各位大家好
目前在讀有關半導體製程黃光的部分
想要問一下關於 HMDS 塗佈的問題
1. 如何確定晶圓上面確實有HMDS
2. 要怎麼確定HMDS的量
希望有大大可以為我這新手解答
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