[問題] SEM 拍攝 光阻疑惑

看板NEMS作者 (我轉三圈)時間7年前 (2017/06/08 06:37), 編輯推噓5(5推 0噓 15→)
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各位先進好： 小弟我對SEM有一點疑惑 書上以及老師都說 SEM並不能看高分子材料 即使鍍了一層金屬，還是會有溶劑揮發 還有就是高能的電子打在樣品上的時候 溫度也會造成高分子材料的變質&揮發。以上都會是汙染腔體的原因 可是許多的光阻data sheet上都有SEM的圖 也看過許多文獻的樣本是高分子也有拍攝… 想請問是有做什麼特殊處理嗎？ 因為我們的樣本被告知進去槍膛後真空就很難抽下去，但是在自己這裡的sputter都可以很順利的抽… ----- Sent from JPTT on my Sony E6853. -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 180.204.64.234 ※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/NEMS/M.1496875041.A.326.html
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槍膛 更正 腔體
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推
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烤乾
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推
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通常高過光阻的tc溫度
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可是負責機台的老師是說 即使烤乾也不能保證… 因為
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之前我們實驗室學長已經黑了…
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的確在拍SEM時若是知道樣品上有光阻,我都會拒絕拍攝,但
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是也遇過很多人隱瞞樣品含有光阻來拍攝,目前遇過最誇張
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的一次是GUN才一開,電子束才剛打到試片,真空值瞬間狂掉
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電子腔馬上跳掉,來拍攝的學生才吐實試片中含有高分子材
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不過我也在不知情下拍過如原PO說的光阻試片,本來以為只
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是拍攝蝕刻後的圖形和奈米流道,拍了4次才發現樣品中有光
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組的存在,詢問下對方是說那光阻有烤乾,只是我之後不敢再
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幫忙拍攝了
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黃光後也有inlineSEM阿 電子束能量高低問題
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推
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之前ChemEng有討論過,另外有可以進高分子的SEM~~~
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(不知道後來有沒有修改掉就是XD)
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ChemEng看板XD
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業界CD-SEM就在量光阻呀 只是你怎麼抓條件還有那台SEM
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有沒有要給其他製程用這樣
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推
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FA House: 費用含燈絲成本， 腔體定期清潔
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