[問題] 銅lift 不掉

看板NEMS作者 (呵呵笑)時間7年前 (2017/05/18 19:10), 編輯推噓4(4推 0噓 2→)
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最近使用sputter鍍Cu都lift不乾淨（wafer上有像雀斑一樣的銅） 光阻是使用FH-6400 前轉15s 1500轉 後轉35s 3500轉 每次sputter完 會泡丙酮2-6小時 就算泡在久還是lift不掉 想請問板上先進 給如何改善製程 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 223.139.61.125 ※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/NEMS/M.1495105814.A.DFE.html
推
05/19 11:47, , 1F
棉花棒慢慢刷
05/19 11:47, 1F
推
05/20 22:12, , 2F
改用垂直蒸鍍銅 或用震盪lift off 、再不行改用光阻去除劑去
05/20 22:12, 2F
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05/20 22:13, , 3F
光阻 你的狀況應該是銅部分連在一起了
05/20 22:13, 3F
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05/21 00:42, , 4F
我有震盪但怕太久 其他地方的銅會一起掀起來
05/21 00:42, 4F
推
05/21 19:27, , 5F
如果沒有要小尺寸的話 建議光阻厚一點
05/21 19:27, 5F
推
05/29 06:49, , 6F
可以震久點，通常蒸鍍好是不容易被震掉
05/29 06:49, 6F
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