[問題] GM1070軟烤時收縮

看板NEMS作者 (ThePanzer)時間7年前 (2016/12/28 01:34), 編輯推噓8(8推 0噓 3→)
留言11則, 4人參與, 最新討論串1/1
各位大家好 小弟在使用GM1070這支光阻時遇到一個問題 塗佈玩之後的軟烤時，常常發生光阻收縮 感覺就像是疏水性表面會有的狀況 如圖的狀況 http://imgur.com/aZE44GG
請問小弟是哪一步做錯了 導致產生以上的狀況呢 謝謝大家 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 140.115.222.162 ※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/NEMS/M.1482860074.A.F14.html
推
12/28 09:31, , 1F
PR coating前有做表面處理嗎 例如HMDS?
12/28 09:31, 1F
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12/28 11:55, , 2F
datasheet上寫不能做HMDS 我只有做去水烘烤
12/28 11:55, 2F
推
12/28 20:27, , 3F
喔喔 那也沒做O2 plasma?
12/28 20:27, 3F
推
12/29 18:21, , 4F
問你個問題?
12/29 18:21, 4F
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12/29 18:22, , 5F
你試片怎麼前置清洗的
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12/29 18:22, , 6F
一般如果晶圓買來沒有做 BOE的清洗 有些光阻
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12/29 18:23, , 7F
會很難上去
12/29 18:23, 7F
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12/29 18:24, , 8F
因為上面的二氧化矽層降低了附著性
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01/01 20:22, , 9F
二氧化矽超親水 理論上不會降低附著性 但超親水會吸附大
01/01 20:22, 9F
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01/01 20:23, , 10F
氣的有機物 這一層就產生了疏水性 用Piranha把這層吃掉
01/01 20:23, 10F
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01/01 20:23, , 11F
露出乾淨的二氧化矽應該可以解決問題
01/01 20:23, 11F
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