[問題] 光阻退火

看板NEMS作者cyc647 (小G)時間8年前 (2016/06/16 12:30)推噓6(6推 0噓 0→)

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各位大大好目前實驗上遇到一個問題我用正光阻s1818要當作定位的目標想請問已經顯影完的s1818 隨著基板一起送去退火(490度C,半小時) 光阻還會留著嗎? 很怕這種高溫光阻會直接蒸發 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 140.116.31.204 ※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/NEMS/M.1466051432.A.F62.html

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s75287

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s75287

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tony1688

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