[問題]光阻 AZ5214的remover AZ 100

看板NEMS作者 (特調冰咖啡)時間9年前 (2015/06/18 11:24), 編輯推噓1(1推 0噓 7→)
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之前lift-off都是用丙酮 後來有查到說AZ系列有個專用的remover AZ100 不知道版上的大大們有沒有人有用過 看他的說明好像是碰到水會變成鹼性 會傷害到基板? -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 140.123.76.230 ※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/NEMS/M.1434597874.A.F7B.html
推
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The remover can be mixed with water in any ratio.
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A 1 : 1 mixture with water is possible
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正光阻專用的remover很多，AZ還有300T, 400T系列
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以及杜邦的EKC系列。但重點是這類remover 主要用途
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不是拿來幫助lift-off。要改善liftoff還是要治本
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從黃光參數做起
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原來如此，感謝解答
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