[問題] enpi 205 光阻參數
嗨，又來麻煩各位，想問一下有沒有人使用過這隻光阻，最近在是這隻的參數。
我主要的問題是在顯影時，整片光阻全部被顯開，有將曝光劑量減到2sec 以下
在想是不是曝後烤不夠久的關係。
P.S
照DATASHEET 上面的建議
五千轉
軟烤 90度 2min
曝後烤 100度 2min
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