[問題] 請教關於AAO陽極氧化鋁製作
我想要請教一下各位關於AAO製作的問題
我的製作程序是
我是用Si當基板，接著熱蒸鍍一層Ti再鍍一層Al
鍍率是0.6nm/s 100微米厚 / 0.5nm/s 700微米厚
接著再做500度的退火3小時
但是總是在要做第一次陽極氧化時鍍層就掉光光了
現在觀察到的情況是我用30V時的電流會很大
但我調電壓至10V電流也有0.3A接著也很快地就掉光
之前有用純鋁片30V去做過那時候電流大概是0.01A
跟用Si基板時的電流比差很多，不知道是這邊出了問題
還是有什麼地方需要注意，請教各位了
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