[問題] 想詢問熱蒸鍍

看板NEMS作者 (...)時間10年前 (2014/07/16 21:38), 編輯推噓2(205)
留言7則, 4人參與, 最新討論串1/1
如同標題 最近在使用熱蒸鍍機 在矽晶片上先鍍上鈦 再鍍上銅 但是會發現到使用耐熱膠帶測試其黏著性時 銅會很容易的被膠帶撕下來 然而鈦是附著在矽晶片上的 所以試了幾次都無法成功 也調整過鍍的速率和厚度 想請問板上的大大 能否提供我一些意見 因為熱蒸鍍的相關資料不是很多 所以麻煩板上的大大能提供一些想法 或者是哪邊可能需要改變之類的 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 114.45.138.250 ※ 文章網址: http://www.ptt.cc/bbs/NEMS/M.1405517894.A.08F.html

07/26 16:36, , 1F
拜託各位大大
07/26 16:36, 1F

07/26 20:35, , 2F
鍍完有沒有做熱退火阿
07/26 20:35, 2F

07/31 17:26, , 3F
沒有耶 只有讓它冷卻約半小時
07/31 17:26, 3F

08/14 22:17, , 4F
銅不管怎麼鍍附著力都不好吧..何況你還用膠帶撕..
08/14 22:17, 4F

08/23 16:36, , 5F
可是就是需要鍍銅耶,有什麼方法嗎 一定需要用到熱蒸
08/23 16:36, 5F

08/23 16:36, , 6F
08/23 16:36, 6F

09/05 19:11, , 7F
可以做一個遮罩去鍍你的wafer
09/05 19:11, 7F
文章代碼(AID): #1Jne162F (NEMS)