[問題] 孔洞有助於溫度均勻分布?
看了一篇paper
MEMS Electronic Nose
裡面其中一段提到heater的設計
看得不是很懂
http://ppt.cc/fhED
第三行到第五行 這段到底是指? 究竟熱的逸失重要還不重要?
第六到八行 是指該heater是由兩層材料以上組成的嗎 (polysilicon layer+其他)
然後這樣會使其溫度不至於高到跟只加熱單一polysilicon層一樣?
(那幹嘛不控制加熱的溫度就好?)
然後再來提到為使溫度分布均勻 會在heater上挖直徑30奈米的圓孔
http://ppt.cc/CIEK
為何挖孔可使溫度分布均勻?
問題很多Q___Q
希望有人可幫我解惑 謝謝
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06/08 17:30, , 1F
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