[問題] TiO2蝕刻問題

看板NEMS作者 (兔子)時間10年前 (2014/02/18 19:34), 編輯推噓0(0推 0噓 2→)
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小弟的實驗是在Si基板正反兩面鍍上不同厚度的TiO2，然後做成MIS結構做CV量測 有幾個問題想請教版上各位大大使用哪種方法來蝕刻會比較好 方法1.先在基板正面旋塗上光阻再烤乾,接著使用49%的HF來蝕刻 方法2.使用RIE做蝕刻但不確定該通甚麼氣體 請問各位大大小弟的方法可行嗎? 煩請各位指教 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 220.143.64.71
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02/19 06:08, , 1F
TiO2 dry/wet etching都有人做，各有優缺點，看
02/19 06:08, 1F
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02/19 06:09, , 2F
你怎樣取捨選擇
02/19 06:09, 2F
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