[問題] ITO玻璃上打Plasma

看板NEMS作者 (路人甲)時間10年前 (2013/12/15 23:46), 編輯推噓2(2推 0噓 8→)
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大家好 想請問一下大家有沒有在ITO玻璃上打plasma的經驗或辦法呢? 實驗室之前都是直接用蓋玻片和PDMS一起打plasma 鏈結上都沒有問題 但我自己的實驗需要在蓋玻片上先上一層ITO玻璃 打plasma之後卻發生鏈結不穩的情況 打完plasma都還黏的住，但是灌水之後PDMS就跟玻璃分開了 不知道需要先做過什麼處理辦法?還是功率不夠高呢? 謝謝大家!! -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 140.114.43.3
推
12/16 00:05, , 1F
打過 但ITO上長不出氫氧建 所以無法預pdms bonding
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12/16 00:06, , 2F
　　　　　　　　　　　鍵　　　　 與
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無論功率或是秒數 似乎都調不出可以bonding的組合
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12/16 00:07, , 4F
之前因為看到某學校step是這樣做而嘗試...
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目前所知道可行的方法是 PDMS bonding面積底下
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將部分ITO蝕刻掉 讓玻璃裸露出來打plasma
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再利用裸露部分進行接合 但要看你的設計允不允許了
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如果你有其他化學改質的方法 也許可以不用蝕刻
12/16 00:11, 8F
推
12/16 00:50, , 9F
ITO表面再PECVD上一層非常薄 oxide 也是可以的....
12/16 00:50, 9F
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12/16 19:30, , 10F
謝謝兩位!!我再試試看!!
12/16 19:30, 10F
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