[問題] SU8 3025

看板NEMS作者 (右腦)時間11年前 (2013/06/15 15:15), 編輯推噓0(000)
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最近想用SU8 3025 將蝕刻孔封住,但需要黏稠度不能流進蝕刻孔內。 也就是希望SU8 會在蝕刻孔上有表面張力,而不會流到蝕刻孔裡。 我查SU8 datasheet裡面有 Viscosity 這項參數。 想請問是否有辦法推倒公式,或是有這方面的資料。 蝕刻孔徑為:10um 左右 -- -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 140.124.33.181
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