[問題]請問關於ECR-CVD之反射功率問題

看板NEMS作者tearn (tearn)時間11年前 (2013/02/28 11:17)推噓0(0推 0噓 0→)

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請問各位大大們~ 我的ECR-CVD是用來成長碳的~ 但反射功率近期常常不知道為什麼飆升~ 有什麼因素會影響到反射功率的呢？每次只要清完管後，自然反射功率就會再降下來~ 曾懷疑過一個可能性…就是我的石英管~ 但想不出什麼合理的解釋來解釋石英管影響的有時候反而比較乾淨的石英管好像反射功率很容易飆高~ 請求大大們是不是有遇過相關的問題？如何解決？ -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 111.255.44.53