[問題] thermal oxide SiO2/Si基板

看板NEMS作者 (三顆骰子)時間11年前 (2013/02/08 06:33), 編輯推噓0(0推 0噓 4→)
留言4則, 3人參與, 最新討論串1/1
最近想找少量的 thermal SiO2 on Si wafer 但厚度要 3 micron以上, 不知道有沒有建議哪裡有廠商可能有現貨的 還是都要特別order? 謝謝 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 142.244.152.245
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3um的thermal oxide!!!這會貴到哭出來吧
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自己長還比較便宜.....
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目前決定大概弄1um thermal..再用PECVD加
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3um沒錯太貴了..
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