[問題] 蝕刻二氧化鈦配方

看板NEMS作者 (dandanboy)時間11年前 (2012/08/31 17:27), 編輯推噓2(2推 0噓 1→)
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AS TILTE 想請問大家是有否有其他蝕刻TiO2薄膜的蝕刻液，我的配方式HF:H2O2:H20=1:1:20，但蝕刻結果並不理想，想請問大家是否有其他配方? -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 140.117.165.183
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09/01 03:00, , 1F
怎麼不理想法?可能要說說你的狀況
09/01 03:00, 1F
推
09/01 10:33, , 2F
用BOE吃一吃就好啦
09/01 10:33, 2F
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09/01 17:31, , 3F
因為吃了快要2，3個小時才吃起來，膜厚30~40奈米
09/01 17:31, 3F
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